氟基等離子體診斷以及在多晶硅太陽能電池制絨中應(yīng)用研究

【摘要】：強(qiáng)電負(fù)性的氟基等離子體是有望替代多晶硅電池片表面濕法制絨的干法制絨技術(shù),然而氟基等離子體特性以及多晶硅的干法制絨機(jī)制機(jī)制仍不清楚。本文利用懸浮性的微波共振探針進(jìn)行了氟基射頻等離子體電子密度的測量,并在氟-氧基等離子體中進(jìn)行了多晶硅表面干法制絨研究。 【作者單位】：蘇州大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院江蘇省薄膜材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
【關(guān)鍵詞】：電子密度 等離子體制絨 多晶硅 反射率 少子壽命
【基金】：江蘇省前瞻性產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合研究項(xiàng)目課題(批準(zhǔn)號:BY2010125)
【分類號】：TM914.41;O536
【正文快照】： 對40.68翩z單射頻容性藕合Ar/SF。和SF6/02等離子體的測量結(jié)果表明:電負(fù)性氣體SF。通入40.68MHz單射頻容性禍合Ar等離子體顯著降低了等離子體電子密度，隨著SF6流量的增加，電子密度呈緩慢下降的趨勢;SF6/0:混合氣體放電中，電子密度隨入射功率的增加而上升，而放電氣壓的上

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