ATO薄膜太陽能電池電極的磁控濺射沉積及其光電轉(zhuǎn)換性能研究

【摘要】：正本文以自制氧化錫銻(ATO)陶瓷靶材為原料,采用磁控濺射法于200℃、不同氧氣流量(0~15sccm)下,同時在石英玻璃基片和銅鋅錫硫(CZTS)電池原件上制備了ATO薄膜電極。采用XRD、FESEM以及霍爾效應(yīng)測試等手段研究了氧氣流量對薄膜微觀結(jié)構(gòu)和光電性能的影響;采用太陽能效率測試儀測試了CZTS薄膜電池的光電轉(zhuǎn)換效率。結(jié)果表明:氧氣流量對薄膜的結(jié)晶度具有顯著影響,從而影響其平均可 【作者單位】：武漢理工大學(xué)材料復(fù)合新技術(shù)國家重點實驗室
【分類號】：TB383.2;TM914.4
【正文快照】： 本文以自制氧化錫銻(ATO)陶瓷靶材為原料,采用磁控濺射法于200°C、不同氧氣流量(0?15sCCm)下,同時在石英玻璃基片和銅鋅錫硫(CZTS)電池原件上制備了ATO薄膜電極。釆用XRD、FESEM以及霍爾效應(yīng)測試等手段研究了氧氣流量對薄膜微觀結(jié)構(gòu)和光電性能的影響;采用太陽能效率測試儀測

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