晶體硅太陽(yáng)能電池選擇性擴(kuò)散及表面鈍化研究

【摘要】： 本文的主要內(nèi)容是介紹晶體硅太陽(yáng)電池選擇性擴(kuò)散新工藝和表面鈍化的理論研究。 首先，簡(jiǎn)要闡述了太陽(yáng)電池的基本原理；其次，闡述了晶體硅太陽(yáng)電池選擇性擴(kuò)散的研究(其中包括選擇性發(fā)射極太陽(yáng)電池的結(jié)構(gòu)說(shuō)明和選擇性擴(kuò)散的工藝設(shè)計(jì))；最后，闡述了表面鈍化的理論研究。 在選擇性擴(kuò)散新工藝中，我們采用絲網(wǎng)印刷電極的方法在硅片的電極位置印刷濃度較高的磷漿(摻磷SiO_2乳膠)，在非電極區(qū)噴涂一層濃度較低的磷源，擴(kuò)散后形成重?fù)诫s和輕摻雜。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示，重?fù)诫s區(qū)和輕摻雜區(qū)的平均方塊電阻分別為30.2Ω和100.2Ω，相差70Ω。在重?fù)诫s區(qū)，硅片獲得較高的表面濃度(10~(20)/cm~3以上)和相對(duì)較深的結(jié)深(0.52μm左右)；在輕摻雜區(qū)，硅片獲得較低的表面濃度(10~(19)/cm~3左右)和相對(duì)較淺的結(jié)深(0.45μm左右)。因此，成功地實(shí)現(xiàn)了選擇性擴(kuò)散。 采用PC1D就表面復(fù)合對(duì)太陽(yáng)電池性能的影響進(jìn)行理論計(jì)算，探討了晶體硅太陽(yáng)電池不同表面濃度條件下，表面復(fù)合速度與太陽(yáng)電池開(kāi)路電壓、短路電流以及轉(zhuǎn)換效率之間的關(guān)系。要得到較好的太陽(yáng)電池性能，表面雜質(zhì)濃度應(yīng)低于5×10~(19)/cm~3，表面復(fù)合速度為10~4cm/s以下。 【關(guān)鍵詞】：太陽(yáng)電池 磷漿 選擇性擴(kuò)散 表面鈍化 表面復(fù)合速度
【學(xué)位授予單位】：云南師范大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2002
【分類(lèi)號(hào)】：TM914
【目錄】：

• 中文摘要5-7
• 引言7-10
• 1 太陽(yáng)電池簡(jiǎn)介10-14
• §1．1 太陽(yáng)電池的結(jié)構(gòu)10
• §1．2 太陽(yáng)電池的工作原理10-11
• §1．3 太陽(yáng)電池的等效電路11-12
• §1．4 太陽(yáng)電池的轉(zhuǎn)換效率12-14
• 2 晶體硅太陽(yáng)電池選擇性擴(kuò)散的研究14-38
• §2．1 選擇性發(fā)射極太陽(yáng)電池結(jié)構(gòu)14-19
• §2．2 擴(kuò)散原理19-28
• §2．3 選擇性擴(kuò)散工藝設(shè)計(jì)28
• §2．4 實(shí)驗(yàn)工藝研究28-32
• §2．4．1 硅片的化學(xué)清洗及拋光28-29
• §2．4．2 磷漿的配制29-30
• §2．4．3 印刷磷漿30
• §2．4．4 預(yù)烘30
• §2．4．5 擴(kuò)散30-31
• §2．4．6 參數(shù)測(cè)量31-32
• §2．5 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析32-38
• 3 表面復(fù)合對(duì)晶體硅太陽(yáng)電池性能的影響38-45
• §3．1 理論分析38-40
• §3．1．1 表面復(fù)合的成因分析38
• §3．1．2 太陽(yáng)電池的表面復(fù)合對(duì)輸出電流的影響38-40
• §3．1．3 減小表面復(fù)合的方法40
• §3．2 理論計(jì)算40-45
• 4 結(jié)論45-46
• 參考文獻(xiàn)46-48
• 附錄48-49
• 致謝49

您可以在本站搜索以下學(xué)術(shù)論文文獻(xiàn)來(lái)了解更多相關(guān)內(nèi)容

硅系太陽(yáng)電池表面鈍化技術(shù)比較    王濤;王正志;

太陽(yáng)能光電池硫酸鉛儲(chǔ)能系統(tǒng)的研究    鄧永和;曹小明;張清剛;

基于太陽(yáng)能供電的高速公路監(jiān)控系統(tǒng)研究    董延穎;

太陽(yáng)能光伏組件伏安特性實(shí)驗(yàn)研究    鄧永和;張景森;閻金;王志剛;

基于Si_3N_4掩模的太陽(yáng)電池選擇性摻雜工藝研究    王強(qiáng);張竹青;沈明榮;花國(guó)然;張華;李志鋒;

太陽(yáng)能電池制備工藝?yán)碚撗芯?nbsp;   胡志偉;吉宗威;

面向溫室補(bǔ)光的太陽(yáng)自動(dòng)跟蹤系統(tǒng)研究    張起勛

基于太陽(yáng)能光控高壓三波誘蟲(chóng)燈的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)    陳國(guó)良

太陽(yáng)能光伏發(fā)電系統(tǒng)的研究    孔娟

硅太陽(yáng)能電池研究    王濤

晶體硅太陽(yáng)電池表面鈍化研究    章曙東

光伏發(fā)電系統(tǒng)的效率最優(yōu)化研究    唐敏

高轉(zhuǎn)換效率太陽(yáng)能電池仿真設(shè)計(jì)    徐耀敏

功能復(fù)合EVA膠膜封裝及耐老化性能研究    陳光偉

轉(zhuǎn)地養(yǎng)蜂專(zhuān)業(yè)戶(hù)光伏系統(tǒng)的研究    杜忠明;熊飛嶠;李天華;

特高頻電調(diào)諧變?nèi)莨芗捌鋺?yīng)用    洪月新,翁壽松

低雜質(zhì)濃度外延層的生長(zhǎng)    李世誠(chéng)

MOS結(jié)構(gòu)襯底電阻率ρ對(duì)閾值電壓V_T動(dòng)態(tài)調(diào)制的計(jì)算機(jī)模擬    李惠軍，馬瑞芬，張寶財(cái)，劉乃英

制造高壓整流管的新工藝    裴素華，薛成山

發(fā)射結(jié)磷擴(kuò)散方法的改進(jìn)    陳炳若

濕氫法開(kāi)管鎵擴(kuò)散    林玉松,李萍

壓阻式傳感器熱靈敏度漂移的變壓源補(bǔ)償    吳亞林,趙揚(yáng)

寬溫度壓阻式傳感器的熱靈敏度漂移補(bǔ)償    鞠文斌,于洪峰,吳亞林

硅片線切割有限元熱分析    王亮;劉志東;黃因慧;田宗軍;邱明波;史勇;

管式擴(kuò)散中POCl_3使用量的測(cè)量及對(duì)擴(kuò)散工藝的影響    陳瓊;蔡希松;李鐘華;劉秀蘭;潘盛;劉志剛;孫鐵囤;

晶體硅太陽(yáng)電池及其電子輻照研究    劉祖明

硅基納米發(fā)光材料    徐少輝

薄膜太陽(yáng)電池及其陶瓷硅襯底材料的制備和電子輻照研究    廖華

SOI集成光波導(dǎo)器件的基礎(chǔ)研究    林志浪

ZnSe/GaAs/Ge高效太陽(yáng)電池的研究    王愛(ài)坤

超高速光導(dǎo)開(kāi)關(guān)及其測(cè)試系統(tǒng)關(guān)鍵問(wèn)題的研究    匡登峰

FeS_2薄膜制備及光電性能    劉艷輝

太陽(yáng)能電池用多晶硅薄膜的制備研究    張宇翔

混粉電火花加工放電機(jī)理及工藝研究    王輝

任意條件下光伏陣列的輸出性能預(yù)測(cè)    翟載騰

基于紫外光刻的納米模具及聚合物納流控芯片制作    孫拓

HIT太陽(yáng)電池硅片處理及復(fù)合透明導(dǎo)電膜的研究    王淑珍

太陽(yáng)電池I-V曲線測(cè)試系統(tǒng)和電極制備研究    馮煒光

單晶硅太陽(yáng)電池?cái)U(kuò)散工藝和絨面制備的研究    潘峰

晶體硅太陽(yáng)電池表面織構(gòu)化工藝的研究    吳江宏

高頻光電導(dǎo)衰減法少子壽命測(cè)試儀設(shè)計(jì)    齊棟博

汽車(chē)雪崩整流二極管研制    游佩武

太陽(yáng)能光伏并網(wǎng)發(fā)電系統(tǒng)的研究與應(yīng)用    宋玉萍

磷漿法制備選擇性發(fā)射極單晶硅太陽(yáng)能電池的研究    韓允

晶體硅太陽(yáng)能電池絲網(wǎng)印刷工藝優(yōu)化的研究    李棟才

我國(guó)太陽(yáng)能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)趨勢(shì)探討    趙玉文;

我國(guó)和世界光伏發(fā)電技術(shù)、產(chǎn)業(yè)、市場(chǎng)發(fā)展情況比較    時(shí)璟麗;

太陽(yáng)能光伏發(fā)電    崔容強(qiáng);喜文華;魏一康;張?zhí)m英;

光伏系統(tǒng)設(shè)計(jì)思路及注意事項(xiàng)    王潤(rùn)波;

硅系太陽(yáng)電池表面鈍化技術(shù)比較    王濤;王正志;

熱氧化法鈍化硅片的少數(shù)載流子壽命    崔燦,楊德仁,余學(xué)功,馬向陽(yáng),李立本,闕端麟

磷鋁吸雜在多晶硅太陽(yáng)電池中的應(yīng)用    趙慧,徐征,勵(lì)旭東,李海玲,許穎,趙玉文,王文靜

對(duì)太陽(yáng)能電池研究進(jìn)展的探究    壽莎;黃仕華;

電動(dòng)自行車(chē)用鉛酸蓄電池質(zhì)量分析及標(biāo)準(zhǔn)的制訂與研究    伊?xí)圆?/span>

太陽(yáng)能光伏應(yīng)用中的儲(chǔ)能系統(tǒng)研究    陳維;沈輝;鄧幼俊;

太陽(yáng)能光伏并網(wǎng)發(fā)電系統(tǒng)的研究    趙為

獨(dú)立光伏系統(tǒng)中蓄電池管理的研究    歐陽(yáng)名三

單相光伏并網(wǎng)系統(tǒng)的分析與研究    王飛

中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略研究    李曉剛

腐蝕法制備選擇性發(fā)射極單晶硅太陽(yáng)能電池的研究    海博

太陽(yáng)電池用氮化硅薄膜及氫鈍化研究    王曉泉

晶體硅太陽(yáng)電池表面鈍化，p-n結(jié)、鋁背場(chǎng)及少子壽命測(cè)量的研究    彭銀生

我國(guó)可再生能源發(fā)展戰(zhàn)略研究    裴郁

基于MPPT的光伏電池電力應(yīng)用系統(tǒng)的研究與設(shè)計(jì)    朱騰

SPWM逆變器控制技術(shù)研究    何中一

光伏陣列測(cè)試方法的研究及實(shí)現(xiàn)    朱小強(qiáng)

基于通用CAD的系列產(chǎn)品專(zhuān)用CAD系統(tǒng)研究與開(kāi)發(fā)    詹國(guó)寧

基于遺傳算法的區(qū)域水資源系統(tǒng)多目標(biāo)優(yōu)化方法研究    張麗麗

太陽(yáng)能光伏發(fā)電系統(tǒng)的研究    孔娟

表面光伏譜在光電材料與器件研究中的應(yīng)用    周紫光;劉愛(ài)民;劉維峰;劉艷紅;

晶體硅太陽(yáng)電池表面鈍化技術(shù)    陳偉;賈銳;張希清;陳晨;武德起;李昊峰;吳大衛(wèi);陳寶欽;劉新宇;

幾種高效率晶體硅太陽(yáng)能電池性能分析    付明;苑鵬;范琳;

大型光伏發(fā)電系統(tǒng)控制原理與并網(wǎng)特性研究    王利平;楊德洲;張軍;

大型分布式電源建模分析與并網(wǎng)特性研究    鄭海濤;楊德州;王利平;

基于MATLAB的光伏電池陣列MPPT仿真研究    邵衛(wèi)超;朱凌;

飲用水中微囊藻毒素臭氧降解效能及影響因素研究    周勤;繆恒鋒;王志良;嚴(yán)群;任洪艷;阮文權(quán);

光伏發(fā)電系統(tǒng)常用Mppt算法仿真分析綜述    陳丹平;

封周變電站屋頂太陽(yáng)能光伏發(fā)電系統(tǒng)研究    曹祥;張斌;

太陽(yáng)能光伏電池陣列仿真模型的研究    王越;王念春;時(shí)斌;

太陽(yáng)能電動(dòng)車(chē)關(guān)鍵技術(shù)研究    李春芳

知識(shí)流動(dòng)理論框架下的科學(xué)前沿與技術(shù)前沿研究    龐杰

太湖富營(yíng)養(yǎng)化水體中典型污染物的臭氧氧化研究    繆恒鋒

基于空間電磁能的無(wú)線傳感器自供能技術(shù)研究    黃金鑫

銅銦鋁硒（CIAS）與CdS、ZnS薄膜光伏材料的研究    周麗梅

鋰離子動(dòng)力電池企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略研究    趙海龍

飲用水中藻毒素和內(nèi)分泌干擾物深度處理技術(shù)    周勤

基于交流母線的光伏逆變器研究    李富國(guó)

質(zhì)子交換膜燃料電池建模及動(dòng)態(tài)仿真    公維磊

分布式發(fā)電系統(tǒng)儲(chǔ)能優(yōu)化配置    田軍

光伏用VRLA蓄電池充放電策略的研究    李黎明

移動(dòng)通信基站太陽(yáng)能電源系統(tǒng)設(shè)計(jì)研究    張武勤

含多種分布式電源的配電網(wǎng)三相潮流計(jì)算    劉霄

太陽(yáng)能半導(dǎo)體制冷箱制冷性能分析    王倩

基于FPGA的MPPT控制技術(shù)研究    丁倩

直流反應(yīng)濺射Al_2O_3膜工藝探討及應(yīng)用    陳士芳,王殿升

太陽(yáng)電池用硅片表面鈍化研究    杜永超,陳偉平,劉漢英,王景霄

晶體硅太陽(yáng)電池的氮化硅表面鈍化研究    楊宏,王鶴,于化叢,奚建平,胡宏勛,陳光德

晶體硅太陽(yáng)電池表面鈍化的研究    彭銀生,劉祖明,陳庭金

采用超聲波技術(shù)鈍化黃銅表面工藝實(shí)踐    苑軍華;隋國(guó)棟;

金屬的鈍化和表面鈍化膜    佐藤教男,蔣忠錦

鋅酸鹽低鉻彩色鈍化工藝與應(yīng)用    謝劍烽

軋輥表面鈍化電火花加工機(jī)    王克錫;

細(xì)菌-礦物接觸/非接觸模式下黃銅礦浸出溶解行為    顧幗華;郭玉武;

鋰電極表面鈍化膜性質(zhì)    V.E.Kazarinov,何造強(qiáng)

ZnS薄膜的低溫生長(zhǎng)與表征及其對(duì)HgCdTe的表面鈍化研究    周詠東;方家熊;李言謹(jǐn);龔海梅;湯定元;

鎂合金表面鈍化膜結(jié)構(gòu)研究及鈍化處理技術(shù)進(jìn)展    申澤驥;謝華生;李寶東;祝強(qiáng);

用碘酒和氫氟酸鈍化單晶硅的比較    孫秀菊;任丙彥;周春蘭;李海玲;趙雷;王文靜;

碲鎘汞紅外焦平面芯片鈍化方案可行性的研究    周詠東;方家熊;趙軍;陸慧慶;湯定元;

晶體硅太陽(yáng)電池的SiN_x:H/熱氧化SiO_2雙層結(jié)構(gòu)的表面鈍化特性研究    周春蘭;唐煜;王文靜;趙雷;李海玲;刁宏偉;

熱處理對(duì)p型單晶硅非晶SiC:H鈍化效果的影響    陳官璧;汪蕾;楊德仁;

n-GaP表面鈍化的光電子能譜研究    陳祖輝;林秀華;江炳熙;陳麗蓉;

晶硅表面薄膜硅鈍化效果研究    趙雷;刁宏偉;曾湘波;周春蘭;李海玲;王文靜;

TiO_2減反射膜應(yīng)用于商業(yè)化單晶硅太陽(yáng)電池生產(chǎn)    羅永川;

鋰離子電池正極材料LiCoO_2表面鈍化膜形成機(jī)理研究    柳娜;李泓;王兆翔;黃學(xué)杰;陳立泉;

油溶性低熔點(diǎn)合金納米微粒的研制    

多功能的防爆助手    實(shí)習(xí)記者 趙莉

電解錳無(wú)鉻鈍化難題破解    馬大軍

朝陽(yáng)產(chǎn)業(yè)：迎接新的太陽(yáng)    翁興國(guó)

鋼桶表面的磷化處理    

納米微粒吸波材料問(wèn)世    潘輝;張平余

中國(guó)有了VLSI封裝材料制備技術(shù)    記者 楊揚(yáng)

電解錳廠含鉻有害廢水排放難題解決    忻昕

納米涂料可吸收電磁波    李云飛

地大專(zhuān)家攻克世界性難題    曹南燕、徐燕

FeS_2的電子結(jié)構(gòu)與光電性能理論模擬及其表面鈍化工藝研究    肖奇

CdSe單晶體生長(zhǎng)工藝與探測(cè)器性能研究    任銳

MCM-22族分子篩的合成及其在苯與異丙醇烷基化反應(yīng)中的催化性能研究    張祚望

有機(jī)—無(wú)機(jī)雜化光伏電池中的界面效應(yīng)及調(diào)控研究    張付特

ZnO納米材料的水熱/溶劑熱合成與物性研究    王玲玲

超聲噴霧熱解制備α-Fe_2O_3薄膜及其光電化學(xué)性質(zhì)研究    張明龍

表面改性鐵基合金的電化學(xué)性能研究    王劍莉

新型硅納米晶材料的制備及其發(fā)光性能的研究    魯穎煒

磷摻雜p型ZnO光電特性及穩(wěn)定性研究    鄭昌佶

晶體硅太陽(yáng)電池及其電子輻照研究    劉祖明

晶體硅太陽(yáng)能電池選擇性擴(kuò)散及表面鈍化研究    吳瑜之

晶體硅太陽(yáng)電池表面鈍化，p-n結(jié)、鋁背場(chǎng)及少子壽命測(cè)量的研究    彭銀生

多晶硅太陽(yáng)電池關(guān)鍵技術(shù)研究    杜忠明

鋁背場(chǎng)鈍化工藝的研究    田晨

多孔硅光電性能研究    卓敬清

SiO_2薄膜和磷鋁吸雜對(duì)太陽(yáng)電池用硅片少子壽命的研究    張兵

HgCdTe光伏器件表面鈍化以及MIS器件制備與分析    張朝陽(yáng)

高效刻槽埋柵晶體硅太陽(yáng)電池（BCSC）的研究    孫秀菊

硅基發(fā)光材料的制備、性能和機(jī)理研究    劉俊朋

硅太陽(yáng)能電池背表面鈍化研究    周?chē)?guó)華