薄膜太陽(yáng)能板生產(chǎn)線中Laser Scribe設(shè)備自動(dòng)化的研究與實(shí)現(xiàn)

【摘要】：FAS為薄膜太陽(yáng)能電池板制造業(yè)提供了一整套工廠自動(dòng)化解決方案。FAS由可視化圖形界面系統(tǒng)、制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)、設(shè)備自動(dòng)化平臺(tái)(EAP)組成。本文所討論的設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)是基于EAP實(shí)現(xiàn)的,通過設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)使得工廠中所有的設(shè)備都在FAS的控制和協(xié)調(diào)下工作,以降低成本和提高生產(chǎn)效率。 本文對(duì)設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)中的關(guān)鍵設(shè)備Laser Scribe進(jìn)行了研究與實(shí)現(xiàn)。首先分析了Laser Scribe提供的自動(dòng)化相關(guān)的功能以及設(shè)備與EAP通信所用的SECS協(xié)議。然后對(duì)Laser Scribe設(shè)備自動(dòng)化進(jìn)行了分模塊的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn),包括設(shè)備模型的建立和設(shè)備的邏輯控制。設(shè)備邏輯控制模塊主要實(shí)現(xiàn)了設(shè)備狀態(tài)管理、生產(chǎn)參數(shù)管理、生產(chǎn)管理以及警告管理的功能。最后通過搭建測(cè)試環(huán)境,對(duì)Laser Scribe設(shè)備自動(dòng)化進(jìn)行了集成測(cè)試,完成了整個(gè)系統(tǒng)的開發(fā)。 【關(guān)鍵詞】：工廠自動(dòng)化系統(tǒng) 制造執(zhí)行系統(tǒng) 設(shè)備自動(dòng)化 半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)通信協(xié)議
【學(xué)位授予單位】：西安電子科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2010
【分類號(hào)】：TP278;TM914.4
【目錄】：

• 摘要3-4
• Abstract4-7
• 第一章 緒論7-11
• 1.1 研究背景7-8
• 1.2 研究目的和意義8
• 1.3 本文主要工作8-9
• 1.4 本文組織結(jié)構(gòu)9-11
• 第二章 工廠自動(dòng)化系統(tǒng)FAS研究11-21
• 2.1 FAS系統(tǒng)體系結(jié)構(gòu)11-12
• 2.2 FAS系統(tǒng)功能模塊研究12-20
• 2.2.1 用戶圖形界面系統(tǒng)OGUI12-13
• 2.2.2 制造執(zhí)行系統(tǒng)MES13-16
• 2.2.3 設(shè)備自動(dòng)化平臺(tái)EAP16-20
• 2.3 本章小結(jié)20-21
• 第三章 Laser Scribe設(shè)備自動(dòng)化的分析與設(shè)計(jì)21-47
• 3.1 Laser Scribe功能分析21-23
• 3.1.1 Laser生產(chǎn)處理功能21-22
• 3.1.2 Laser Scribe自動(dòng)化相關(guān)功能的研究22-23
• 3.2 設(shè)備自動(dòng)化的SEMI標(biāo)準(zhǔn)23-30
• 3.2.1 SECS-GEM通信標(biāo)準(zhǔn)的框架23-24
• 3.2.2 SECS-GEM標(biāo)準(zhǔn)分層介紹24-30
• 3.3 Laser Scribe自動(dòng)化的需求分析30-31
• 3.4 系統(tǒng)設(shè)計(jì)31-46
• 3.4.1 設(shè)計(jì)目標(biāo)31
• 3.4.2 Laser Scribe自動(dòng)化概要設(shè)計(jì)31-32
• 3.4.3 設(shè)備模型建立32-37
• 3.4.4 功能模塊設(shè)計(jì)37-46
• 3.5 本章小結(jié)46-47
• 第四章 Laser Scribe邏輯控制的實(shí)現(xiàn)與測(cè)試47-65
• 4.1 設(shè)備狀態(tài)管理47-49
• 4.2 生產(chǎn)參數(shù)管理49-51
• 4.3 設(shè)備生產(chǎn)管理51-55
• 4.4 設(shè)備警告管理55-57
• 4.5 系統(tǒng)測(cè)試與分析57-63
• 4.5.1 測(cè)試環(huán)境的建立57-58
• 4.5.2 測(cè)試用例的設(shè)計(jì)與測(cè)試的實(shí)施58-63
• 4.6 本章小結(jié)63-65
• 第五章 總結(jié)與展望65-67
• 致謝67-69
• 參考文獻(xiàn)69-70

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基于PDA的嵌入式GIS研究與實(shí)現(xiàn)    童小華;張錦;田根;

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農(nóng)村信息化中虹終端交互設(shè)備的研究與實(shí)現(xiàn)    魏斌

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基于Web Services的教師教學(xué)質(zhì)量評(píng)價(jià)系統(tǒng)的研究與實(shí)現(xiàn)    陳秋紅