多晶硅循環(huán)生產(chǎn)節(jié)能裝置又一關(guān)鍵設(shè)備實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化

【摘要】：正四氯化硅是西門子法多晶硅生產(chǎn)中副產(chǎn)物,其循環(huán)使用是長(zhǎng)期制約我國(guó)多晶硅低成本生產(chǎn)的關(guān)鍵因素,但其氫化條件苛刻,溫度在520~580℃,壓力2.5~3.8MPa,臨氫,循環(huán)生產(chǎn)周期短,需3個(gè)月~6個(gè)月檢修和更換,生產(chǎn)效率低下,其更換更帶來大量的三廢排放,給環(huán)境帶來污染。在我國(guó),如何高效、穩(wěn)定運(yùn)行多晶硅循環(huán)生產(chǎn)的多晶硅冷氫化裝置,一直是業(yè)界 【關(guān)鍵詞】： 循環(huán)生產(chǎn);西門子法多晶硅;四氯化硅;生產(chǎn)效率;生產(chǎn)周期;副產(chǎn)物;低成本生產(chǎn);三廢排放;能源設(shè)備;多晶硅生產(chǎn);
【分類號(hào)】：TQ127.2;F426.721
【正文快照】： 四氯化硅是西門子法多晶硅生產(chǎn)中副產(chǎn)物,其循環(huán)使用是長(zhǎng)期制約我國(guó)多晶硅低成本生產(chǎn)的關(guān)鍵因素,但其氫化條件苛刻,溫度在520~580℃,壓力2.5~3.8MPa,臨氫,循環(huán)生產(chǎn)周期短,需3個(gè)月~6個(gè)月檢修和更換,生產(chǎn)效率低下,其更換更帶來大量的三廢排放,給環(huán)境帶來污染。在我國(guó),如何高效、

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