MIS多晶硅太陽能電池的AES和ESCA分析

【摘要】：正 為了解決能源問題,目前多晶硅太陽能電池的研究受到普遍重視.結(jié)構(gòu)為50(A|°)Cr/60(A|°)Cu/32(A|°)Cr/20(A|°)SiO_2/Si的多晶硅 MIS太陽能電池,據(jù)報道可以得到 V_(oc)=0.50伏特,效率達8.8％.MIS多層結(jié)構(gòu)的組份對于太陽能電池的功能有很重要影響.本文目的是利用AES和ESCA研究MIS多層結(jié)構(gòu)的組份,以便改進太陽能電池的功能. 【作者單位】： 中國科學院半導體研究所 中國科學院半導體研究所 中國科學院半導體研究所 中國科學院半導體研究所
【關(guān)鍵詞】： 硅太陽能電池 ESCA分析 多層結(jié)構(gòu) 多晶硅 能源問題 模擬樣品 SiO_/Si 效率 表面層 電子能
【正文快照】： 為了解決能源問題,目前多晶硅太陽能電池的研究受到普遍重視.結(jié)構(gòu)為50入cr/60久cu/32入cr/20入5102/si的多晶硅Mls太陽能電池,據(jù)報道可以得到v。。一0.50伏特,效率達8.8多Llj.Mls多層結(jié)構(gòu)的組份對于太陽能甩池的功能有很重要影響.本文目的是利用AES和ESCA研究MIS多層結(jié)構(gòu)的組

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