從甲烷—氫氣中生長金剛石微粒

【摘要】：如同在金剛石上一樣,在包括硅、鉬和二氧化硅的非金剛石襯底上,用化學汽相沉積法生長了金剛石微細晶體。沉積是采用將碳氫化合物和氫氣的混合物通入一個加熱的反應器而進行的,反應器內靠近襯底處裝有熱鎢絲。用反射電子衍射和喇曼光譜儀鑒定了沉積物。研究了實驗條件對生長特性的影響。 【關鍵詞】： 金剛石 加熱溫度 喇曼光譜 微粒 甲烷濃度 流動控制系統(tǒng) 沉積物 化合物 氫氣 金剛石薄膜
【正文快照】： 1.引言 金剛石因為其硬度高,導熱性好,電阻高,而且呈化學惰性,因而是一種獨特的有魅力的材料。汽相合成法在制備金剛石微粒和薄膜方面有若干優(yōu)點,到目前為止,化學汽相沉積(CvD)〔’,“〕、離子束沉積〔3,4〕、濺射和等離子體化學汽相沉積〔c一9〕之類的各種方法仍被應用于制

您可以在本站搜索以下學術論文文獻來了解更多相關內容

大氣對紅外系統(tǒng)作用距離的影響的研究    李瑩;

    

    

    

    

    

    

    

    

    

光電導探測器靈敏度標定    易榮清;孫可煦;楊國洪;劉慎業(yè);

微波等離子體化學氣相沉積法制備金剛石管及其表征    高旭輝;魏俊俊;呂反修;

金剛石N型導電研究    戴瑛;劉東紅;閆翠霞;俞林;楊劍;

90年代中期制造新型金剛石陣列場發(fā)射體D—FEA的方法(二)    劉光詒;柯錦松;朱敏慧;朱長純;淮永進;董曉;林彰達;

金剛石軟X光濾波器    應萱同;駱金龍;

CVD金剛石紫外探測器    樓燕燕;王林軍;張明龍;顧蓓蓓;蘇青峰;夏義本;

微流控芯片中鞘流控制技術研究    徐征;張媛;劉沖;陳剛;

飛秒激光光鑷穩(wěn)定性分析    邢岐榮;毛方林;栗巖鋒;柴路;王清月;

多功能光學微操作系統(tǒng)及應用    姚保利;雷銘;

不同介質桿材料對慢波系統(tǒng)散熱性能的影響    韓勇;劉燕文;丁耀根;劉濮鯤;

法國科學家研制出新型金剛石半導體    

“智能微?！弊晕医M裝 神奇功能應用廣闊    記者 毛磊

電腦機密遭竊芯片吸“氧”自焚    申彥

新型電子材料    吳瓊

去除氫原子激光來幫忙    本報記者　聶翠蓉

明察秋毫的納米稱應運爾生    

俄羅斯激光技術風采依然    本報駐俄羅斯記者　董映璧

中國多晶硅產業(yè)前景展望    張博

納米絲織成計算電路    

FED場發(fā)射平板顯示器研制成功    記者 喬地、通訊員 張民英

金剛石薄膜制備及其在改善電力電子器件熱特性方面的研究    張志勇

多元半導體及其合金的第一性原理計算研究    陳時友

高壓下半導體的載流子行為    胡廷靜

基于片上天線的高頻全局時鐘無線分布關鍵技術研究    何小威

立方氮化硼單晶半導體特性及電致發(fā)光現(xiàn)象的研究    劉海波

太赫茲輻射的產生、探測及一些分子和固體的太赫茲時域光譜    王琳

立方氮化硼二階非線性光學性質及電致發(fā)光的研究    竇慶萍

納米尺度光波導及微結構若干性質研究    趙立華

金剛石薄膜的制備形核及其半導體性質的研究    李超

高頻金剛石多層薄膜結構聲表面波濾波器的設計和研制    陳菁菁

聚合物－納米半導體微粒復合膜的制備及表征    胡菁

微波近場輻射的研究    楊麗麗

金剛石襯底上ZnO薄膜的MOCVD生長及SAW器件的初步研究    楊洪軍

SiC單晶拋光片的制備與表征    陳勇臻

基于激光加工石英微型通道用于光鑷操縱的研究    楊子義

TFT-LCD制造中通過CVD與DE改善互連接觸孔形狀    吳賓賓

寬帶隙半導體表面電子結構和磁性研究    金浩

激光光阱力數(shù)值計算及光鑷系統(tǒng)儀器化方案研究    趙海軍