在甲烷和氫氣的混合氣體中的直流輝光放電清洗實(shí)驗(yàn)

【摘要】：本文敘述了在ＣＨ４＋Ｈ２混合氣體中對(duì)不銹鋼真空室壁的直流輝光放電清洗的實(shí)驗(yàn)研究結(jié)果。實(shí) 驗(yàn)表明，它具有相當(dāng)高的去除氧雜質(zhì)的能力，而且可以在室溫下進(jìn)行。通過(guò)控制ＣＨ４的濃度，可以方便地控制碳在壁上的沉積率，從而開(kāi)辟了一條形成碳化壁的途徑。 【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院等離子體物理研究所 中國(guó)科學(xué)院等離子體物理研究所 中國(guó)科學(xué)院等離子體物理研究所 中國(guó)科學(xué)院等離子體物理研究所 中國(guó)科學(xué)院等離子體物理研究所 中國(guó)科學(xué)院等離子體物理研究所
【關(guān)鍵詞】： 直流輝光放電 甲烷和氫 氧雜質(zhì) 混合氣體 壁表面 分壓強(qiáng) 真空室 放電清洗 沉積率 陰極鞘層
【正文快照】： 一、引言 .在聚變實(shí)驗(yàn)中廣泛地采用在氫氣中進(jìn)行整流輝光放電來(lái)清洗真空室壁表面’‘’。但是實(shí)驗(yàn)表明,。在室溫下這種放電清洗的氧雜質(zhì)的去除率是低的“’,因而必須將真空室、壁烘烤到、柏0℃以上。在實(shí)際的情況下、由于結(jié)構(gòu)的限制,高溫烘烤真空室?guī)?lái)了克服熱應(yīng)力,熱絕緣,

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