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甲烷-氫混合氣相生長金剛石薄膜

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時(shí)間:2024-08-18 20:40:17
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甲烷-氫混合氣相生長金剛石薄膜【摘要】:【作者單位】:湖南大學(xué)物理系湖南大學(xué)物理系湖南大學(xué)物理系湖南大學(xué)物理系 【關(guān)鍵詞】:金剛石薄膜 混合氣 甲烷 金剛石膜 CVD法

【摘要】: 【作者單位】: 湖南大學(xué)物理系 湖南大學(xué)物理系 湖南大學(xué)物理系 湖南大學(xué)物理系
【關(guān)鍵詞】金剛石薄膜 混合氣 甲烷 金剛石膜 CVD法 襯底溫度 石墨腐蝕 碳?xì)浠衔?/strong> 低氣壓 氫原子
【正文快照】: 目前,金剛石的合成主要是以石墨為原料,采用高溫高壓法合成金剛石小顆粒.盡管從五十年代起,許多研究工作者以碳?xì)浠衔餅樵舷朐诘蜌鈮合潞铣山饎偸∧?但一直到七十年代初,S.Aissenbera[1]和C·Weissma-netl[2]等才用離子淀積法生長出了類金剛石薄膜(即膜的大部分為非晶

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