甲烷-氫混合氣相生長金剛石薄膜
甲烷-氫混合氣相生長金剛石薄膜【摘要】:【作者單位】:湖南大學(xué)物理系湖南大學(xué)物理系湖南大學(xué)物理系湖南大學(xué)物理系 【關(guān)鍵詞】:金剛石薄膜 混合氣 甲烷 金剛石膜 CVD法
【關(guān)鍵詞】: 金剛石薄膜 混合氣 甲烷 金剛石膜 CVD法 襯底溫度 石墨腐蝕 碳?xì)浠衔?/strong> 低氣壓 氫原子
【正文快照】: 目前,金剛石的合成主要是以石墨為原料,采用高溫高壓法合成金剛石小顆粒.盡管從五十年代起,許多研究工作者以碳?xì)浠衔餅樵舷朐诘蜌鈮合潞铣山饎偸∧?但一直到七十年代初,S.Aissenbera[1]和C·Weissma-netl[2]等才用離子淀積法生長出了類金剛石薄膜(即膜的大部分為非晶
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金剛石薄膜中晶粒尺寸的研究 唐壁玉,靳九成,陳宗璋
生長溫度對CVD金剛石薄膜的影響 唐壁玉,劉勁松,陳宗璋
硬質(zhì)合金YG8上金剛石薄膜的成核研究 唐璧玉,靳九成,陳宗璋
定向金剛石膜的合成及機(jī)理探索 唐璧玉,楊國偉,任志昂,蔡孟秋
火焰法沉積金剛石薄膜過程中碳在基底中的行為 郭志猛,殷聲,賴和怡
非金剛石襯底生長金剛石薄膜中過渡層存在的機(jī)理研究 楊國偉,毛友德
有機(jī)半導(dǎo)體LPPP發(fā)光性質(zhì)及相關(guān)問題研究 王蜀霞
新型醫(yī)用輻射劑量計(jì)金剛石膜的制備及性能研究 王兵
硬質(zhì)合金基體表面預(yù)處理及其金剛石涂層的研究 劉沙
新型金剛石薄膜輻射劑量計(jì)的基礎(chǔ)研究及設(shè)計(jì) 廖曉明
熱絲化學(xué)氣相沉積金剛石膜的研究 孫心瑗
金剛石薄膜制備工藝與電學(xué)、輻射響應(yīng)性關(guān)系的研究 張進(jìn)
基于電感耦合氧等離子體金剛石膜表面修飾的功率優(yōu)化 張楷亮;王莎莎;王芳;吳小國;孫大智;
襯底溫度對CVD金剛石薄膜織構(gòu)的影響 朱宏喜;顧超;薛永棟;任鳳章;
微波等離子體CVD金剛石膜的溫度效應(yīng) 顧利萍;曹永浩;熊安邦;
不同重力取向?qū)饎偸∧どL的影響 楊潔;申彩霞;劉旺盛;王成新;劉洪武;
金剛石薄膜電子場發(fā)射研究進(jìn)展 茅東升;王曦;李煒;柳襄懷;
微波等離子體CVD法制備金剛石薄膜的研究 王向東;
準(zhǔn)分子激光低溫淀積金剛石薄膜 董麗芳;趙慶勛;
CVD金剛石薄膜及其在紅外和X光光學(xué)上的應(yīng)用 應(yīng)萱同;
硼摻雜金剛石薄膜的電致發(fā)光 何金田;王小平;劉大軍;王建恩;張兵臨;
天線耦合式MPCVD制備大面積金剛石薄膜的研究 任英;冉均國;芶立;鄭昌瓊;
非平衡定態(tài)相圖在激活低壓氣相生長金剛石中的應(yīng)用 萬永中;劉志杰;張衛(wèi);王季陶;
超納米金剛石薄膜力學(xué)性能及其界面結(jié)合強(qiáng)度分析 萬強(qiáng);胡文軍;梅軍;
脈沖激光激發(fā)金剛石/硅結(jié)構(gòu)光聲效應(yīng)的有限元分析 鞠恒毅;米小兵;張淑儀;
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微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石薄膜的電子顯微學(xué)分析 劉燕燕
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CVD金剛石膜的附著性能與應(yīng)用 馬丙現(xiàn)
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無氫非晶金剛石薄膜的制備及其電子場發(fā)射性能研究 茅東升
納米金剛石薄膜的制備機(jī)理及其機(jī)械性能研究 徐鋒
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圖形化納米金剛石薄膜的制備及表面氫吸附的研究 石利忠
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