非晶硅太陽能電池生產(chǎn)工藝用氣分析方法研究

【摘要】：本文對非晶硅太陽能電池制造工藝過程所用的無機(jī)氫化物烷類氣體硅烷、硼烷、磷烷、甲烷和氫及其混合氣的配制與分析方法進(jìn)行了研究,以微機(jī)控制配氣、檢測程序、氣相色譜法分成分析雜質(zhì),電容法測水分,方法已應(yīng)用于工藝過程分析。 【作者單位】： 北京有色金屬研究總院 北京有色金屬研究總院 北京有色金屬研究總院 北京有色金屬研究總院 北京有色金屬研究總院
【關(guān)鍵詞】： 非晶硅太陽能電池 氫化物 質(zhì)量流量 多維氣相色譜
【正文快照】： 特植氧艘分析工作中,Gc、Gc/Ms方法維已患用于燕樓氫化物的分析,但是,多偏重于硅烷的分析。本研究工作系統(tǒng)地遭行了非晶硅太踢能奄池制造工葬用氧艘硅烷、硼烷、磷烷、甲烷和氫的混合氧髓成分及其中氧、氮、甲烷和水等雄置的分析方法的研究。以微截控制配氧輿檢測。方法已用

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