直流電場中甲烷氣體的分解過程
直流電場中甲烷氣體的分解過程【摘要】:采用MonteCarlo模擬方法 ,對直流電場中甲烷分子的分解過程進行研究 ,計算出電子在甲烷氣體中的漂移速度 ,結果與實驗符合得很好 ,同時
【關鍵詞】: MonteCarlo方法 漂移速度 甲烷分解
【分類號】:O623;O484.1
【正文快照】: 近年來 ,隨著電子助進化學氣相沉積 (EACVD)合成金剛石技術的發(fā)展 ,對甲烷分子在直流電場中分解過程的研究日顯重要 ,主要因為甲烷是EACVD生長金剛石膜技術中常用的碳源物質 ,因而其在直流電場中的分解產物及其產物的空間分布直接影響著金剛石薄膜的生長 .為了搞清
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