低功耗甲烷氣敏元件的制備及氣敏性能研究

【摘要】：甲烷氣體通常需要在較高的工作溫度下工作,要達(dá)到這個(gè)工作溫度區(qū)間,元件體電阻越大,功耗也就越大;要降低功耗,就要降低元件體電阻。本文所述元件是在SnO2敏感膜材料中摻入Pd, Sb2O3,Al2O3等添加劑,制成微珠式元件,從而大大降低了元件的體電阻,設(shè)計(jì)出一種低功耗CH4氣敏元件。此種元件在低于150 mW的加熱功率下,在5000×10-6的CH4氣氛中靈敏度可達(dá)到3以上,響應(yīng)時(shí)間小于10 s,且具有良好的選擇性和穩(wěn)定性。 【作者單位】： 鄭州煒盛電子科技有限公司 中國(guó)民航鄭州空中交通管理中心 鄭州煒盛電子科技有限公司 鄭州煒盛電子科技有限公司
【關(guān)鍵詞】： 甲烷 低功耗 氣敏元件
【分類號(hào)】：TP212
【正文快照】： 0引言Sno:是氧化物半導(dǎo)體敏感材料中應(yīng)用最多、最廣的一種，對(duì)多種氣體具有敏感性[lj，目前對(duì)Sn姚氣敏元件的研究比較深人。本元件選用Sn():作主材料，是因?yàn)镾nO:半導(dǎo)體作敏感材料制作的氣敏元件，與其它類型氣敏元件相比，具有以下特點(diǎn)川: 1)sn02材料的物理、化學(xué)穩(wěn)定性好，

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