對(duì)超低濃度甲烷具有高氣敏性的自組裝型SnO_2納米棒氣敏傳感器

【摘要】：通過熱蒸發(fā)SnO2和活性炭的混合粉末的自組裝方式直接在Cr-Au梳狀交叉電極上制備了一層SnO2納米棒氣敏層,從而研制出了SnO2納米棒氣敏傳感器,經(jīng)測(cè)試,發(fā)現(xiàn)此傳感器對(duì)于濃度范圍為2～5ppm的甲烷具有非常好的探測(cè)靈敏度,繼而從氣敏機(jī)制、自組裝制備方式、SnO2納米棒的比表面特性及SnO2納米棒的尺度低于得拜長度等角度解釋了此傳感器對(duì)甲烷具有高氣敏性的原因。 【作者單位】： 深圳大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)學(xué)院深圳市微納光子信息技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 氣敏傳感器 納米材料 氣敏特性
【基金】：深圳市微納光子信息技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金資助項(xiàng)目(編號(hào):2000811)
【分類號(hào)】：TP212.2
【正文快照】： 一、前言在專門用來檢測(cè)微型信息的氣敏傳感器中,其工作機(jī)制是由于曝露于不同氣體中而引起電子傳導(dǎo)從而產(chǎn)生氧化或還原反應(yīng)。而由于這些反應(yīng)依靠材料表面層所存在的活動(dòng)中心或缺陷,那么提高器件對(duì)微弱信息的捕獲程度即微型靈敏度很大程度上靠傳感層材料的比表面特性來決定[1]

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