電子束蒸發(fā)太陽能電池窗口層ZnO薄膜

【摘要】：用電子束蒸發(fā)法在玻璃基片上制備太陽能電池窗口層ZnO薄膜,并在氧氣環(huán)境下對其在400~500℃的溫度下退火1 h.通過X射線衍射、電鏡掃描、透過率光譜等手段測試和分析所制備的薄膜,結(jié)果表明:當(dāng)薄膜未經(jīng)過熱處理時,薄膜中含有大量的單質(zhì)鋅;當(dāng)薄膜經(jīng)過400℃退火后,薄膜逐漸結(jié)晶,并且其物相成分基本是ZnO;當(dāng)退火溫度逐漸升高到500℃時,晶粒長大,晶化程度提高,對可見光和近紅外光的透過率也增大,平均值可達90%,此時所制備出的ZnO薄膜適合于作為太陽能電池的窗口層. 【作者單位】： 福州大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理系 福州大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理系 福州大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理系
【關(guān)鍵詞】： ZnO薄膜 電子束蒸發(fā) 退火
【基金】：福建省教育廳科技計劃項目(JB05062,JB05063)
【分類號】：TM914.4
【正文快照】： 0引言優(yōu)質(zhì)的ZnO薄膜具有c軸擇優(yōu)取向生長,室溫下其禁帶寬度約為3·3 eV,是典型的直接帶隙寬帶半導(dǎo)體.其薄膜在可見光波段透射率可達90%,電阻率可降至10-7Ω·m,是一種理想的透明導(dǎo)電薄膜.ZnO薄膜在透明導(dǎo)體、發(fā)光元件、太陽能電池窗口材料、光波導(dǎo)器、單色場發(fā)射顯示材料、高

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