應用于甲烷氣體檢測的閃耀光柵設(shè)計與研究

【摘要】：針對CH4氣體濃度檢測,設(shè)計、計算了應用于CH4氣體濃度檢測的微閃耀光柵的結(jié)構(gòu),并給出了相關(guān)參數(shù)。通過PCGrate軟件模擬了光柵的衍射效率,證明所設(shè)計微閃耀光柵能夠滿足CH4檢測所需的1.331μm波長的分光要求。在此基礎(chǔ)上設(shè)計了基于閃耀光柵分光原理的簡明分光裝置,并對各分光元件裝置進行分析,分析結(jié)果表明:微分光閃耀光柵可應用礦井、汽車尾氣排放檢測等領(lǐng)域的多種氣體濃度檢測,并實現(xiàn)甲烷氣體濃度的較高靈敏度測量。 【作者單位】： 西安郵電學院信息中心;
【關(guān)鍵詞】： 微閃耀光柵 甲烷檢測 衍射效率
【分類號】：O436.1
【正文快照】： 近年來MEMS技術(shù)的發(fā)展,使得基于硅微加工的光柵、閃耀光柵、微集成光學、平面微分光等典型微光學器件成為可能。這些微分光器件可以完成分光、濾光等功能,因此可以在紅外吸收法精確測量氣體濃度方面得到廣泛應用。由于閃耀光柵具有零級分光的特性[1],使得它的應用研究成為人

您可以在本站搜索以下學術(shù)論文文獻來了解更多相關(guān)內(nèi)容

光纖光柵調(diào)制式光纖甲烷氣體傳感器的研究    王玉田,劉瑾,楊海馬

吸收式光纖氣體傳感器的研究    甘維兵,朱勵,張宇,張愛軍

調(diào)制式光纖甲烷氣體傳感器的研究    王玉田,郭增軍,王莉田

光譜吸收式光纖甲烷氣體傳感器及其信號處理方法    王書濤;車仁生;

差分吸收式光纖甲烷氣體傳感器的研究    王玉田,郭增軍,王莉田

氣體峰值吸收系數(shù)隨壓強變化關(guān)系的理論分析    馬維光,尹王保,黃濤,趙延霆,李昌勇,賈鎖堂

基于諧波檢測技術(shù)的光纖甲烷氣體傳感器的研究    王玉田,劉瑾,張景超,楊海馬

用LED作光源的Fabry-Perot光纖甲烷氣體傳感器的研究    王玉田,郭增軍,王莉田

紅外吸收光譜法在氣體檢測中的應用    張帆,張立萍

分時差分式光纖甲烷氣體檢測儀的研制    米新江,許愛東,王英華,李靈風

基于光譜吸收光纖甲烷氣體傳感系統(tǒng)的研究    郭增軍

光纖光學式甲烷氣體傳感器的設(shè)計與實驗研究    張景超

火災煙霧顆粒粒徑分布的測量與計算模擬    馬綏華

基于光譜吸收的光纖式有害氣體測量技術(shù)的研究    王艷菊

光譜吸收型光纖氣體傳感器的研究    張愛軍

光纖乙炔氣體傳感器的研究    王杰

光譜吸收式光纖甲烷氣體傳感器的研究    郭廷榮

基于熒光猝滅原理的光纖氧傳感器研究    張建標

光纖氧、乙炔氣體敏感材料及其傳感器性能研究    越方禹

光譜吸收式光纖甲烷氣體傳感系統(tǒng)的研究    劉瑾

用熱聚法制備光纖氧傳感器敏感材料及其性能，應用的研究    陳興

智能型光纖瓦斯傳感器技術(shù)研究    孫紅鴿

MEMS紅外瓦斯傳感檢測系統(tǒng)的研究    譚秋林

光纖氣體傳感器的研究    冉昌艷

精密光柵單色儀接口與驅(qū)動電路的研制    曹彥波,王興華,郇延富,于愛民,金欽漢

自由空間的微閃耀光柵光開關(guān)    楊俊波;蘇顯渝;

雷達PPI光柵掃描顯示系統(tǒng)設(shè)計與實現(xiàn)    于慧穎;魯敏;雍少為;

雙光柵純轉(zhuǎn)動拉曼測溫激光雷達單色儀的光學設(shè)計    蘇嘉;張寅超;趙曰峰;劉玉麗;洪光烈;趙培濤;屈凱峰;謝軍;

基于光柵掃描的雷達顯示系統(tǒng)仿真    韓瑞新;劉小江;朱紅勝;祝笑舟;

閃耀光柵陣列用于半導體激光器列陣光束整形    鄭春艷,鄭國興,周崇喜,杜春雷

閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)    趙捷;

基于ARM內(nèi)核微處理器的光柵位移測量系統(tǒng)    陳海燕;屠恒海;

反射式閃耀光柵楔形平板用于轉(zhuǎn)角測量    陶衛(wèi),浦昭邦,萬松

可調(diào)諧激光遙測甲烷濃度的研究    張瑞峰;王曉洋;

    

    

    

    

    

    

    

    

    

基于吸收光譜法的光纖氣體傳感器及傳感網(wǎng)絡(luò)    余貺琭

基于光纖衰蕩腔的甲烷氣體傳感系統(tǒng)研究    孫順根