應(yīng)用于吸收型甲烷傳感器的1650nm DFB激光器的研制

【摘要】：光學(xué)吸收法是一種工程上有效可行的檢測(cè)痕量甲烷氣體的方法,具有廣泛地應(yīng)用于構(gòu)建煤礦坑道等場(chǎng)合的安全防護(hù)和報(bào)警系統(tǒng)的潛力。為實(shí)現(xiàn)針對(duì)甲烷氣體1653nm吸收峰特性的單色光源,采用金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積外延和納米壓印等技術(shù)手段,從多量子阱外延材料設(shè)計(jì)和金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉生長(zhǎng)到器件封裝,研制了1653nm分布反饋激光器。器件性能達(dá)到了52dB邊模抑制比、14.9%的外微分斜率效率、不大于12mA的閾值電流、匹配甲烷1653nm吸收帶的0.116nm@20dB光譜線寬和穩(wěn)定的光學(xué)與電學(xué)特性?；谠摷す馄?對(duì)體積分?jǐn)?shù)為0.005～0.05的甲烷氣體測(cè)試誤差率不大于1.3%。結(jié)果表明,該器件能夠應(yīng)用于基于諧波法的痕量甲烷探測(cè)工程系統(tǒng),且適應(yīng)于批量制造。 【作者單位】： 武漢光迅科技股份有限公司;武漢理工光科股份有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 激光器 分布反饋激光器 納米壓印 甲烷痕量探測(cè) 諧波檢測(cè)技術(shù)
【分類號(hào)】：TN248.4
【正文快照】： 引言 瓦斯爆炸是煤礦最主要的安全事故。煤礦坑道實(shí)時(shí)瓦斯監(jiān)測(cè)是重要而且緊迫的工程技術(shù)問(wèn)題。甲烷是瓦斯氣體的主要構(gòu)成,因而痕量甲烷氣體探測(cè)成為瓦斯監(jiān)測(cè)的關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題。由于甲烷在近紅外區(qū)有較好的吸收特性,故可以采用光學(xué)技術(shù)來(lái)實(shí)施痕量檢測(cè)川。這種技術(shù)根據(jù)近紅外分布

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基于可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器的甲烷氣體監(jiān)測(cè)技術(shù)    韋云波;印新達(dá);江山;董雷;

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光纖瓦斯傳感器在煤礦瓦斯氣體監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用    穆國(guó)華;常靜;

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便攜式甲烷氣體檢測(cè)儀    劉飛

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采用可調(diào)諧激光吸收光譜技術(shù)遙測(cè)甲烷氣體濃度的研究    姚華

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基于紅外吸收原理的氣體檢測(cè)    劉中奇,王汝琳

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1.5μm光柵反饋型動(dòng)態(tài)單模激光器    王圩

10Gbit/s高T_0無(wú)制冷分布反饋激光器    趙玲娟,朱洪亮,張靜媛,周帆,王寶軍,邊靜,王魯峰,田慧良,王圩

1.74μm壓應(yīng)變InGaAs/InGaAsP量子阱分布反饋激光器(英文)    潘教青,王圩,朱洪亮,趙謙,王寶軍,周帆,王魯峰

自混合干涉對(duì)分布反饋激光器線寬的影響    張銀閣;王鳴;周俊萍;

分布反饋激光器、調(diào)制器及其單片集成    陳建新,鄔祥生

1.5μm InGaAsP/InP脊型波導(dǎo)分布反饋激光器    王圩,張靜媛,田慧良,繆育博,汪孝杰,馬朝華,王麗明,呂卉,高俊華,高洪海

激射波長(zhǎng)為820nm的大功率分布反饋激光器(英文)    付生輝;鐘源;宋國(guó)峰;陳良惠;

激光技術(shù)與應(yīng)用    

帶激射窗口區(qū)的1.57μm InGaAsP/InP分布反饋隱埋異質(zhì)結(jié)激光器    K. Utaka,程阜民

利用納米壓印方法制備納米電極    孫天華;胡彬彬;杜祖亮;

鐵電高分子拉伸和納米壓印中的結(jié)構(gòu)演變和性能研究    程照溪;陳昕;陳相仲;沈群東;

基于硫醇點(diǎn)擊化學(xué)的新型紫外納米壓印膠    林宏;萬(wàn)霞;姜學(xué)松;王慶康;印杰;

納米壓印技術(shù)在導(dǎo)電聚合物中的應(yīng)用    石剛;呂男;

長(zhǎng)波長(zhǎng)大應(yīng)變InGaAs/InGaAsP分布反饋激光器材料生長(zhǎng)與器件制備    于紅艷;

納米壓印技術(shù)制作DFB半導(dǎo)體激光器    左強(qiáng);王磊;王智浩;孫堂友;周寧;趙彥立;徐志謀;劉文;

基于納米壓印技術(shù)構(gòu)筑導(dǎo)電聚合物納米線    石剛;呂男;

分布反饋半導(dǎo)體激光器自混合干涉的研究    宦海;王鳴;郭冬梅;陸敏;

嵌段共聚物表面AFM針尖鍛造納米圖案熱擦除動(dòng)力學(xué)研究    洪曉東;王鈾;王雪峰;

納米壓印光刻技術(shù)及其設(shè)備研制    董曉文;司衛(wèi)華;顧文琪;

市領(lǐng)導(dǎo)會(huì)見(jiàn)美國(guó)國(guó)家工程院院士    尹暉

日開(kāi)發(fā)低成本納米壓印刻蝕裝置    陳超

有線電視光纖傳輸設(shè)備的工作原理與系統(tǒng)調(diào)試    福建 陳志奇

64位存儲(chǔ)器在美問(wèn)世    記者王俊鳴

打造“精密”平板秀    本報(bào)記者 張煜

增強(qiáng)拉曼散射傳感器靈敏度提高10億倍    記者 劉霞

納米藝術(shù)如何施展身手?    同濟(jì)大學(xué)教授 沈海軍

納米壓印技術(shù)制作光子晶體結(jié)構(gòu)及其應(yīng)用研究    李小麗

納米壓印用聚合物體系的創(chuàng)制與性能的研究    董會(huì)杰

納米壓印技術(shù)及其在金屬光柵偏振分束器和半導(dǎo)體激光器上的應(yīng)用    王定理

納米壓印在制備雙色發(fā)光圖案及負(fù)折射系數(shù)材料中的應(yīng)用    高立國(guó)

嵌段共聚物薄膜二維自組裝及在納米壓印中的應(yīng)用    洪曉東

新型紫外納米牙印光刻膠的研究    林宏

基于納米壓印技術(shù)構(gòu)筑導(dǎo)電高分子圖案    黃春玉

納米壓印及MEMS仿生功能表面制備的研究    范細(xì)秋

基于光纖耦合的激光自混合干涉效應(yīng)    周俊萍

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微納波導(dǎo)光柵及其制造技術(shù)研究    張義文

利用納米壓印技術(shù)構(gòu)筑圖案化微納結(jié)構(gòu)    丁萬(wàn)勇

陽(yáng)離子型納米壓印膠與復(fù)合納米壓印模板的研究    張繼宗

卷對(duì)卷納米壓印實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的研制及其關(guān)鍵技術(shù)研究    湯啟升

基于納米壓印技術(shù)制備人工微結(jié)構(gòu)光電功能材料工藝研究    林亮

納米壓印鎳模板的復(fù)制工藝研究    王海祥

基于氣體壓縮式施壓的納米壓印研究    李天昊

基于巰基—烯材料的納米壓印聚合物模板的制備技術(shù)研究    張滿

大行程納米壓印光刻機(jī)的電控系統(tǒng)設(shè)計(jì)    何雪縈

基于納米壓印技術(shù)的亞波長(zhǎng)抗反射結(jié)構(gòu)的工藝研究    劉瑞宏