非晶硅薄膜太陽能電池生產(chǎn)簡述

【摘要】：簡述了非晶硅薄膜太陽能電池基本原理,論述了采用等離子增強化學氣相沉積(PECVD)技術(shù)生產(chǎn)非晶硅薄膜太陽能電池的工藝、產(chǎn)品性能參數(shù)及研究發(fā)展方向。 【作者單位】： 秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計院;
【關(guān)鍵詞】： 非晶硅薄膜太陽能電池 PECVD a-Si
【分類號】：TM914.4
【正文快照】： 1引言太陽能電池是利用光電轉(zhuǎn)換原理使太陽的輻射光通過半導體物質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娔艿囊环N器件,這種光電轉(zhuǎn)換過程通常叫做“光生伏打效應(yīng)”,因此太陽能電池又稱為“光伏電池”。太陽能光電轉(zhuǎn)換電池主要分為兩類,一類是晶體硅電池,包括單晶硅(sc-Si)電池、多晶硅(mc-Si)電池兩種,它

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