電子級多晶硅填補國內(nèi)空白青海產(chǎn)品品質(zhì)

5月24日，在集成電路硅材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展座談會上，國家電投黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司新能源分公司分別與浙江金瑞泓科技股份有限公司、有研半導(dǎo)體材料有限公司、麥斯克電子材料有限公司簽署合作協(xié)議，這標(biāo)志著我省多晶硅產(chǎn)品品質(zhì)達到國際先進水平，并為廣大下游企業(yè)所認可。

多晶硅材料作為集成電路基礎(chǔ)材料的最前端，生產(chǎn)技術(shù)和市場一直被國外壟斷。經(jīng)過多年的努力，黃河水電公司新能源分公司發(fā)展成為國內(nèi)唯一一家集成電路應(yīng)用的高純電子級多晶硅生產(chǎn)企業(yè)，其產(chǎn)品成功應(yīng)用于集成電路行業(yè)，打破了國內(nèi)市場長期由國外公司壟斷的格局。2011年以來，黃河新能源分公司電子級多晶硅連續(xù)4年銷售量超過百噸，國內(nèi)市場占有率達到10%;2012年，獲得CNAS檢測和校準(zhǔn)實驗室資質(zhì)認可，允許使用CNAS認可標(biāo)識;2013年成為符合工信部《光伏制造行業(yè)規(guī)范條件》的首批企業(yè);2014年，國家科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》半導(dǎo)體級多晶硅材料研發(fā)項目申報成功，目前產(chǎn)品質(zhì)量已經(jīng)達到項目全部要求。經(jīng)第三方權(quán)威檢測機構(gòu)檢測，我省制造的電子級多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量與德國、日本等知名國際企業(yè)多晶硅質(zhì)量相當(dāng)。

此外，黃河新能源分公司經(jīng)過近十年的努力，建成了國內(nèi)第一條電子級多晶硅生產(chǎn)線，并率先在國內(nèi)建立了一套完整的滿足SEMI標(biāo)準(zhǔn)的電子級多晶硅產(chǎn)品檢測標(biāo)準(zhǔn)、指標(biāo)體系和檢測質(zhì)量控制流程，擁有目前國內(nèi)唯一按照國際半導(dǎo)體材料與設(shè)備協(xié)會(SEMI)標(biāo)準(zhǔn)配置的多晶硅檢測實驗室，這為我省進一步延伸產(chǎn)業(yè)鏈，構(gòu)建單晶硅、硅片及半導(dǎo)體封裝等電子信息產(chǎn)業(yè)奠定了基礎(chǔ)。

更重要的是，這一電子級多晶硅生產(chǎn)線利用了國內(nèi)首套完整的冷氫化技術(shù)，實現(xiàn)了生產(chǎn)中副產(chǎn)物循環(huán)利用，冷氫化四氯化硅轉(zhuǎn)化率達到國內(nèi)最高水平，還原爐回收尾氣經(jīng)處理后達到電子級多晶硅生產(chǎn)要求，實現(xiàn)完全閉路循環(huán)，達到了節(jié)能減排降耗的綠色生產(chǎn)效果。

當(dāng)前和今后一段時期是我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要戰(zhàn)略機遇期和攻堅期。對此，黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司總經(jīng)理魏顯貴表示，公司將繼續(xù)致力于核心技術(shù)研發(fā)和質(zhì)量提升，以創(chuàng)新驅(qū)動引領(lǐng)未來發(fā)展，努力將國內(nèi)電子級多晶硅市場占有率提升至30%以上，力爭成為全國重要的集成電路材料生產(chǎn)基地和行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)。