(1)切片:采用多線切割,將硅棒切割成正方形的硅片。
(2)清洗:用常規(guī)的硅">

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屋面太陽能光伏發(fā)電系統(tǒng)解決方案

來源:新能源網(wǎng)
時(shí)間:2012-02-21 21:52:53
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屋面太陽能光伏發(fā)電系統(tǒng)解決方案晶體硅太陽能電池的制造工藝流程晶體硅太陽能電池的制造工藝流程說明如下:
(1)切片:采用多線切割,將硅棒切割成正方形的硅片。
(2)清洗:用常規(guī)的硅

晶體硅太陽能電池的制造工藝流程晶體硅太陽能電池的制造工藝流程說明如下:
(1)切片:采用多線切割,將硅棒切割成正方形的硅片。
(2)清洗:用常規(guī)的硅片清洗方法清洗,然后用酸(或堿)溶液將硅片表面切割損傷層除去30-50um。
(3)制備絨面:用堿溶液對硅片進(jìn)行各向異性腐蝕在硅片表面制備絨面。
(4)磷擴(kuò)散:采用涂布源(或液態(tài)源,或固態(tài)氮化磷片狀源)進(jìn)行擴(kuò)散,制成PN+結(jié),結(jié)深一般為0.3-0.5um。
(5)周邊刻蝕:擴(kuò)散時(shí)在硅片周邊表面形成的擴(kuò)散層,會(huì)使電池上下電極短路,用掩蔽濕法腐蝕或等離子干法腐蝕去除周邊擴(kuò)散層。
(6)去除背面PN+結(jié)。常用濕法腐蝕或磨片法除去背面PN+結(jié)。
(7)制作上下電極:用真空蒸鍍、化學(xué)鍍鎳或鋁漿印刷燒結(jié)等工藝。先制作下電極,然后制作上電極。鋁漿印刷是大量采用的工藝方法。
(8)制作減反射膜:為了減少入反射損失,要在硅片表面上復(fù)蓋一層減反射膜。制作減反射膜的材料有MgF2 ,SiO2 ,Al2O3 ,SiO ,Si3N4 ,TiO2 ,Ta2O5等。工藝方法可用真空鍍膜法、離子鍍膜法,濺射法、印刷法、PECVD法或噴涂法等。
(9)燒結(jié):將電池芯片燒結(jié)于鎳或銅的底板上。
(10)測試分檔:按規(guī)定參數(shù)規(guī)范,測試分類。由此可見,太陽能電池芯片的制造采用的工藝方法與半導(dǎo)體器件基本相同,生產(chǎn)的工藝設(shè)備也基本相同,但工藝加工精度遠(yuǎn)低于積體電路芯片的制造要求,這為太陽能電池的規(guī)模生產(chǎn)提供了有利條件。單晶硅和多晶硅的區(qū)別單晶硅和多晶硅的區(qū)別是,當(dāng)熔融的單質(zhì)硅凝固時(shí),硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,如果這些晶核長成晶面取向相同的芯片,則形成單晶硅。如果這些晶核長成晶面取向不同的芯片,則形成多晶硅。多晶硅與單晶硅的差異主要表現(xiàn)在物理性質(zhì)方面。例如在力學(xué)性質(zhì)、電學(xué)性質(zhì)等方面,多晶硅均不如單晶硅。多晶硅可作為拉制單晶硅的原料。單晶硅可算得上是世界上最純凈的物質(zhì)了,一般的半導(dǎo)體器件要求硅的純度六個(gè)9以上。大型積體電路的要求更高,硅的純度必須達(dá)到九個(gè)9。

目前,人們已經(jīng)能制造出純度為十二個(gè)9 的單晶硅。單晶硅是電子電腦、自動(dòng)控制系統(tǒng)等現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的基本材料。高純度硅在石英中提取,以單晶硅為例,提煉要經(jīng)過以下過程:石英砂一冶金級硅一提純和精煉一沉積多晶硅錠一單晶硅一硅片切割。冶金級硅的提煉并不難。它的制備主要是在電弧爐中用碳還原石英砂而成。這樣被還原出來的硅的純度約98-99%,但半導(dǎo)體工業(yè)用硅還必須進(jìn)行高度提純(電子級多晶硅純度要求11個(gè)9,太陽能電池級只要求6個(gè)9)。而在提純過程中,有一項(xiàng)“三氯氫硅還原法(西門子法)”的關(guān)鍵技術(shù)我國還沒有掌握,由于沒有這項(xiàng)技術(shù),我國在提煉過程中70%以上的多晶硅都通過氯氣排放了,不僅提煉成本高,而且環(huán)境污染非常嚴(yán)重。
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