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鋰電知識必備(9)——透射電子顯微鏡(TEM)
鋰電知識必備(9)——透射電子顯微鏡(TEM)這是該鋰電知識必備系列文章的第9篇,希望大家可以持續(xù)關(guān)注。上一篇講到掃描電子顯微鏡(SEM),其實在掃描電鏡發(fā)明之前,透射電子顯微鏡(
這是該鋰電知識必備系列文章的第9篇,希望大家可以持續(xù)關(guān)注。
上一篇講到掃描電子顯微鏡(SEM),其實在掃描電鏡發(fā)明之前,透射電子顯微鏡(透射電鏡)已經(jīng)問世。1932年,德國柏林工業(yè)大學(xué)高壓實驗室的卡諾爾和盧卡斯成功試制成功電子顯微鏡,這是世界上第一臺透射電鏡。
相較于掃描電鏡,透射電鏡具有更高的分辨率。不僅可以用衍射模式來研究晶體的結(jié)構(gòu),還可以在成像模式下得到樣品的高分辨像,得到材料的微觀結(jié)構(gòu)。
工作原理
透射電鏡和掃描電鏡一樣,利用聚焦電子束作為照明源,不同的是,透射電鏡是以透射電子為成像信號,而掃描電鏡是以二次電子、背散射電子等為成像信號(如下圖所示)。
圖片來源施明哲《掃描電鏡和能譜儀的原理與實用分析技術(shù)》
由于透射電鏡樣品需要很薄,大部分電子會穿透樣品,其強(qiáng)度分布與所觀察樣品的形貌、組織、結(jié)構(gòu)一一對應(yīng)。透過樣品后的電子束經(jīng)物鏡匯聚調(diào)焦和初級放大后,電子束進(jìn)入下級的中間透鏡和第1、第2投影鏡進(jìn)行綜合放大成像,最終被放大的電子像投射在觀察室內(nèi)的熒光屏板供使用者觀察。圖像的明暗與樣品的原子序數(shù)、電子密度、厚度等相關(guān)。
透射電鏡按照加速電壓分類,可分為低壓透射電鏡(<200KV),高壓透射電鏡(200~400KV)和超高壓透射電鏡(>400KV)。按照分辨率可分為低分辨率和高分辨率透射電鏡。
為了方便對透射電鏡與掃描電鏡的結(jié)構(gòu)比較,大家可參考下面這個簡略圖(其中,樣品位置不同是很大的不同點)。
圖片來源施明哲《掃描電鏡和能譜儀的原理與實用分析技術(shù)》
透射電鏡和掃描電鏡在分辨力和焦點深度等方面也是不同的(如下圖所示)。
圖片來源施明哲《掃描電鏡和能譜儀的原理與實用分析技術(shù)》
透射電鏡在鋰電材料中的應(yīng)用
LiNi0.9Co0.1O2的TEM及相應(yīng)的元素分布(圖片來源孔德飛碩士論文)
SnO2納米單晶HRTEM(高分辨率透射電鏡)圖(圖片來源梁英博士論文)
附參考文獻(xiàn)
[1] 張保林, 透射電鏡與掃描電鏡分析
[2] 施明哲《掃描電鏡和能譜儀的原理與實用分析技術(shù)》