硅片等級分類及標(biāo)準(zhǔn)

一、優(yōu)等品 1：硅片表面光滑潔凈。 2：TV：220±20μm。 3：幾何尺寸： 邊長125±0.5mm；對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm； 邊長150±0.5mm 、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。 同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1mm。 垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.3。 二、合格品 一級品： 　　1：表面有少許污漬、輕微線痕。 　　2：220±20μm ≤TV≤220±30μm。 　　3：幾何尺寸： 　　邊長125±0.5mm；對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm； 　　邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm； 　　邊長150±0.5mm 、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。 　　同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.2mm。 　　垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.5。 二級品： 　　1：表面有少許污漬、線痕、凹痕，輕微崩邊。 　　2： 220±30μm ≤TV≤220±40μm。 　　3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。 　　4：崩邊范圍：崩邊口不是三角形狀，崩邊口長度≤1mm，深度≤0.5mm 　　5：幾何尺寸： 　　邊長125±0.52mm；對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm； 　　邊長103±0.52mm、對角135±0.52mm； 　　邊長150±0.52mm 、156±0.52mm、對角203±0.52mm、200±0.52mm。 　　同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.5mm。 　　垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.8。 三極品： 　　1：表面有油污但硅片顏色不發(fā)黑，有線痕和硅落現(xiàn)象。 　　2：220±40μm ≤TV≤220±60μm。 　　3：硅落：整張硅片邊緣硅晶脫落或部分硅晶脫落。 三、不合格品 　　嚴(yán)重線痕、厚薄片：TV＞220±60μm。 　　崩邊片：有缺損但可以改Φ103的硅片。 　　氣孔片：硅片中間有穿孔 。 　　外形片：切方滾圓未能磨出的硅片。 　　倒角片（同心度）：任意兩個弧的弦長之差>1.5mm。 　　菱形片（垂直度）：任意兩邊的夾角>90°±0.8。 　　凹痕片：硅片兩面凹痕之和＞30μm。 　　臟  片：硅片表面有嚴(yán)重污漬且發(fā)黃發(fā)黑。 　　尺寸偏差片：幾何尺寸超過二級品的范圍。 　　注：以上標(biāo)準(zhǔn)針對的硅片厚度為220μm。