上海：《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)（征求意見稿）》

大氣網(wǎng)訊:日前，上海發(fā)布《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)（征求意見稿）》。詳情如下：

前 言

本文件按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。

本文件于2006年11月1日首次發(fā)布，本次修訂為第一次修訂。

本文件對(duì)DB31/374-2006的主要修訂之處如下：

——調(diào)整了水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)分級(jí)；將原第一類污染物兩個(gè)級(jí)別的排放標(biāo)準(zhǔn)調(diào)整為執(zhí)行同一級(jí)別的排放標(biāo)準(zhǔn)，將原第二類污染物三個(gè)級(jí)別的直接排放標(biāo)準(zhǔn)調(diào)整為同一個(gè)級(jí)別；調(diào)整了大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的排放速率控制方式，將原來按不同排氣筒高度制定標(biāo)準(zhǔn)調(diào)整為執(zhí)行同一標(biāo)準(zhǔn)；

——調(diào)整了污染物控制項(xiàng)目：增加了水污染物控制項(xiàng)目石油類、總氮、總磷、陰離子表面活性劑、總鋅、綜合毒性；增加了大氣污染物控制項(xiàng)目顆粒物、氯氣、氮氧化物、苯、錫及其化合物、砷化氫、磷化氫、非甲烷總烴、氰化氫；

——調(diào)整了部分污染物項(xiàng)目的排放限值；收嚴(yán)了懸浮物、化學(xué)需氧量、五日生化需氧量、總有機(jī)碳等10項(xiàng)水污染物項(xiàng)目的排放限值；收嚴(yán)了硫酸霧、氯化氫、揮發(fā)性有機(jī)物等3項(xiàng)大氣污染物的排放限值；

——增加了廠界大氣污染物控制點(diǎn)濃度限值；

——更新了部分污染物項(xiàng)目的測(cè)定分析方法。

本文件由上海市生態(tài)環(huán)境局提出、歸口并組織實(shí)施。

本文件起草單位：上海市環(huán)境科學(xué)研究院。

引 言

為貫徹《中華人民共和國(guó)環(huán)境保護(hù)法》《中華人民共和國(guó)大氣污染防治法》《中華人民共和國(guó)水污染防治法》《上海市環(huán)境保護(hù)條例》《上海市大氣污染防治條例》，引導(dǎo)半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)生產(chǎn)工藝和污染治理技術(shù)的進(jìn)步和可持續(xù)發(fā)展，結(jié)合上海市的實(shí)際情況，對(duì)DB31/374-2006《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》進(jìn)行修訂。

本文件實(shí)施之日起，新制定或新修訂的國(guó)家大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)于本文件限值，以及國(guó)務(wù)院生態(tài)環(huán)境主管部門或市人民政府發(fā)布執(zhí)行特別排放限值公告的，按照從嚴(yán)原則，按適用范圍執(zhí)行相應(yīng)大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)。惡臭污染物執(zhí)行DB31/1025。本文件實(shí)施后不再執(zhí)行上海市《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（DB31/933-2015）。環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件或排污許可證要求嚴(yán)于本文件或地方標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，按照批復(fù)的環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件或排污許可證執(zhí)行。

本文件由上海市人民政府202□年□□月□□日批準(zhǔn)。

半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放

1 范圍

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)水和大氣污染物排放控制要求、監(jiān)測(cè)和監(jiān)督管理要求。

本文件適用于半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)或生產(chǎn)設(shè)施的水和大氣污染物排放管理，以及建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)境影響評(píng)價(jià)、環(huán)境保護(hù)設(shè)施設(shè)計(jì)、竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收、排污許可證核發(fā)及其投產(chǎn)后的水和大氣污染物排放管理。

本文件規(guī)定的水污染物排放控制要求適用于半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)直接或間接向其法定邊界外排放水污染物的行為。

2 規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

GB/T 7466 水質(zhì) 總鉻的測(cè)定

GB/T 7467 水質(zhì) 六價(jià)鉻的測(cè)定 二苯碳酰二肼分光光度法

GB/T 7470 水質(zhì) 鉛的測(cè)定 雙硫腙分光光度法

GB/T 7471 水質(zhì) 鎘的測(cè)定 雙硫腙分光光度法

GB/T 7475 水質(zhì) 銅、鋅、鉛、鎘的測(cè)定 原子吸收分光光度法

GB/T 7484 水質(zhì) 氟化物的測(cè)定 離子選擇電極法

GB/T 7485 水質(zhì) 總砷的測(cè)定 二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法

GB/T 7494 水質(zhì) 陰離子表面活性劑的測(cè)定 亞甲藍(lán)分光光度法

GB/T 11893 水質(zhì) 總磷的測(cè)定 鉬酸銨分光光度法

GB/T 11900 水質(zhì) 痕量砷的測(cè)定 硼氫化鉀-硝酸銀分光光度法

GB/T 11901 水質(zhì) 懸浮物的測(cè)定 重量法

GB/T 11907 水質(zhì) 銀的測(cè)定 火焰原子吸收分光光度法

GB/T 11910 水質(zhì) 鎳的測(cè)定 丁二酮肟分光光度法

GB/T 11912 水質(zhì) 鎳的測(cè)定 火焰原子吸收分光光度法

GB/T 16157 固定污染源排氣中顆粒物測(cè)定與氣態(tài)污染物采樣方法

GB/T 16489 水質(zhì) 硫化物的測(cè)定 亞甲基藍(lán)分光光度法

GB 37822 揮發(fā)性有機(jī)物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)

HJ/T 27 固定污染源排氣中氯化氫的測(cè)定 硫氰酸汞分光光度法

HJ/T 28 固定污染源排氣中氰化氫的測(cè)定 異煙酸-吡唑啉酮分光光度法

HJ/T 30 固定污染源排氣中氯氣的測(cè)定 甲基橙分光光度法

HJ/T 38 固定污染源排氣中非甲烷總烴的測(cè)定 氣相色譜法

HJ/T 42 固定污染源排氣中氮氧化物的測(cè)定 紫外分光光度法

HJ/T 43 固定污染源排氣中氮氧化物的測(cè)定 鹽酸萘乙二胺分光光度法

HJ/T 55 大氣污染物無組織排放監(jiān)測(cè)技術(shù)導(dǎo)則

HJ/T 60 水質(zhì) 硫化物的測(cè)定 碘量法

HJ/T 65 大氣固定污染源 錫的測(cè)定 石墨爐原子吸收分光光度法

HJ/T 91.1 污水監(jiān)測(cè)技術(shù)規(guī)范

HJ/T 195 水質(zhì) 氨氮的測(cè)定 氣相分子吸收光譜法

HJ/T 199 水質(zhì) 總氮的測(cè)定 氣相分子吸收光譜法

HJ/T 200 水質(zhì) 硫化物的測(cè)定 氣相分子吸收光譜法

HJ/T 373 固定污染源監(jiān)測(cè)質(zhì)量保證與質(zhì)量控制技術(shù)規(guī)范（試行）

HJ/T 397 固定源廢氣監(jiān)測(cè)技術(shù)規(guī)范

HJ/T 399 水質(zhì) 化學(xué)需氧量的測(cè)定 快速消解分光光度法

HJ 484 水質(zhì) 氰化物的測(cè)定 容量法和分光光度法

HJ 485 水質(zhì) 銅的測(cè)定 二乙基二硫代氨基甲酸鈉分光光度法

HJ 486 水質(zhì) 銅的測(cè)定 2，9-二甲基-1，10-菲啰啉分光光度法

HJ 487 水質(zhì) 氟化物的測(cè)定 茜素磺酸鋯目視比色法

HJ 488 水質(zhì) 氟化物的測(cè)定 氟試劑分光光度法

HJ 489 水質(zhì) 銀的測(cè)定 3,5-Br2-PADAP分光光度

HJ 490 水質(zhì) 銀的測(cè)定 鎘試劑2B分光光度法

HJ 493 水質(zhì) 采樣樣品的保存和管理技術(shù)規(guī)定

HJ 494 水質(zhì) 采樣技術(shù)指導(dǎo)

HJ 495 水質(zhì) 采樣方案設(shè)計(jì)技術(shù)指導(dǎo)

HJ 501 水質(zhì) 總有機(jī)碳的測(cè)定 燃燒氧化-非分散紅外吸收法

HJ 505 水質(zhì) 五日生化需氧量(BOD5)的測(cè)定稀釋與接種

HJ 533 環(huán)境空氣和廢氣 氨的測(cè)定 納氏試劑分光光度法

HJ 534 環(huán)境空氣 氨的測(cè)定 次氯酸鈉-水楊酸分光光度法

HJ 535 水質(zhì) 氨氮的測(cè)定 納氏試劑分光光度法

HJ 536 水質(zhì) 氨氮的測(cè)定 水楊酸分光光度法

HJ 537 水質(zhì) 氨氮的測(cè)定 蒸餾-中和滴定法

HJ 544 固定污染源廢氣 硫酸霧的測(cè)定 離子色譜法（暫行）

HJ 547 固定污染源廢氣 氯氣的測(cè)定 碘量法（暫行）

HJ 548 固定污染源廢氣 氯化氫的測(cè)定 硝酸銀容量法（暫行）

HJ 549 環(huán)境空氣和廢氣 氯化氫的測(cè)定 離子色譜法(暫行)

HJ 583 環(huán)境空氣 苯系物的測(cè)定 固體吸附/熱脫附-氣相色譜法

HJ 584 環(huán)境空氣 苯系物的測(cè)定 活性炭吸附/二硫化碳解吸-氣相色譜法

HJ 604 環(huán)境空氣 總烴、甲烷和非甲烷總烴的測(cè)定 直接進(jìn)樣-氣相色譜法

HJ 636 水質(zhì) 總氮的測(cè)定 堿性過硫酸鉀消解紫外分光光度法

HJ 637 水質(zhì) 石油類和動(dòng)植物油的測(cè)定 紅外分光光度法

HJ 657 空氣和廢氣 顆粒物中鉛等金屬元素的測(cè)定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法

HJ 659 水質(zhì) 氰化物等的測(cè)定 真空檢測(cè)管-電子比色法

HJ 644 環(huán)境空氣 揮發(fā)性有機(jī)物的測(cè)定 吸附管采樣－熱脫附/氣相色譜－質(zhì)譜法

HJ 665 水質(zhì) 氨氮的測(cè)定 連續(xù)流動(dòng)-水楊酸分光光度法

HJ 666 水質(zhì) 氨氮的測(cè)定 流動(dòng)注射-水楊酸分光光度法

HJ 667 水質(zhì) 總氮的測(cè)定 連續(xù)流動(dòng)-鹽酸萘乙二胺分光光度法

HJ 668 水質(zhì) 總氮的測(cè)定 流動(dòng)注射-鹽酸萘乙二胺分光光度法

HJ 670 水質(zhì) 磷酸鹽和總磷的測(cè)定 連續(xù)流動(dòng)-鉬酸銨分光光度法

HJ 671 水質(zhì) 總磷的測(cè)定 流動(dòng)注射-鉬酸銨分光光度法

HJ 688 固定污染源廢氣 氟化氫的測(cè)定 離子色譜法（暫行）

HJ 692 固定污染源廢氣 氮氧化物的測(cè)定 非分散紅外吸收法

HJ 693 固定污染源廢氣 氮氧化物的測(cè)定 定電位電解法

HJ 694 水質(zhì) 汞、砷、硒、鉍和銻的測(cè)定 原子熒光法

HJ 700 水質(zhì) 65種元素的測(cè)定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法

HJ 732 固定污染源廢氣 揮發(fā)性有機(jī)物的采樣 氣袋法

HJ 734 固定污染源VOCs的測(cè)定 固相吸附-熱脫附-氣相色譜-質(zhì)譜法

HJ 759 環(huán)境空氣 揮發(fā)性有機(jī)物的測(cè)定 罐采樣/氣相色譜-質(zhì)譜法

HJ 776 水質(zhì) 32種元素的測(cè)定 電感耦合等離子體發(fā)射光譜法

HJ 777 空氣和廢氣 顆粒物中金屬元素的測(cè)定 電感耦合等離子體發(fā)射光譜法

HJ 819 排污單位自行監(jiān)測(cè)技術(shù)指南 總則

HJ 823 水質(zhì) 氰化物的測(cè)定 流動(dòng)注射-分光光度法

HJ 826 水質(zhì) 陰離子表面活性劑的測(cè)定 流動(dòng)注射-亞甲基藍(lán)分光光度法

HJ 828 水質(zhì) 化學(xué)需氧量的測(cè)定 重鉻酸鹽法

HJ 836 固定污染源廢氣 低濃度顆粒物的測(cè)定 重量法

HJ 905 惡臭污染環(huán)境監(jiān)測(cè)技術(shù)規(guī)范

HJ 908 水質(zhì) 六價(jià)鉻的測(cè)定 流動(dòng)注射-二苯碳酰二肼光度法

HJ 944 排污單位環(huán)境管理臺(tái)賬及排污許可證執(zhí)行報(bào)告技術(shù)規(guī)范 總則（試行）

HJ 970 水質(zhì) 石油類的測(cè)定 紫外分光光度法（試行）

HJ 1069 水質(zhì) 急性毒性的測(cè)定 斑馬魚卵法

HJ 1132 固定污染源廢氣 氮氧化物的測(cè)定 便攜式紫外吸收法

HJ 1147 水質(zhì) pH值的測(cè)定 電極法

《污染源自動(dòng)監(jiān)控管理辦法》（國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局令 第28號(hào)）

《環(huán)境監(jiān)測(cè)管理辦法》（國(guó)家環(huán)境保護(hù)總局令 第39號(hào)）