無錫半導(dǎo)體有機(jī)廢氣治理項(xiàng)目順利竣工并通過驗(yàn)收

VOCs在線訊:現(xiàn)如今半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展迅速，半導(dǎo)體行業(yè)給社會帶來的經(jīng)濟(jì)效益及就業(yè)率是有目共睹的，伴隨著半導(dǎo)體元件的生產(chǎn)，廢氣污染也隨之而來。在半導(dǎo)體行業(yè)中造成環(huán)境污染的有機(jī)廢氣，主要來源于‌‌芯片或者是線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影等過程。

如未經(jīng)處理直接排放會影響周圍環(huán)境，同時對人體的危害也是極為嚴(yán)重，所以越來越多的企業(yè)都注重環(huán)保意識，必須進(jìn)行廢氣處理后才能排入大氣之中。目前國家加大對環(huán)境的保護(hù)力度，對企業(yè)的廢氣處理要求也越來越嚴(yán)格。

近日，由可迪爾承接的無錫某半導(dǎo)體有機(jī)廢氣治理項(xiàng)目順利竣工并通過驗(yàn)收。

項(xiàng)目背景：

本項(xiàng)目位于江蘇省無錫，業(yè)主是一家從事微電子業(yè)務(wù)，及芯片設(shè)計、晶圓制造、封裝測試等全產(chǎn)業(yè)鏈一體化運(yùn)營能力的半導(dǎo)體企業(yè)。在進(jìn)行生產(chǎn)時會產(chǎn)生大量的有機(jī)廢氣，包含異丙醇(IPA)、丙酮Acetone、PGMEA、PGME、MEA、DMSO等成分，處理風(fēng)量共160,000 m3/h，廢氣濃度為100mg/m3。

單一的活性炭吸附工藝已無法滿足環(huán)保部門對有機(jī)廢氣雙 90（處理效率、收集效率）的要求，為了積極響應(yīng)政府對環(huán)境保護(hù)的號召，同時也為了更好的履行社會責(zé)任，實(shí)現(xiàn)改善創(chuàng)造良好環(huán)境，業(yè)主進(jìn)行有機(jī)廢氣處理工藝的升級改造。

設(shè)計方案：

治理工藝：可迪爾沸石轉(zhuǎn)輪濃縮+催化氧化 (CO)

濃縮倍數(shù)：25倍

方案：

Fab內(nèi)制程設(shè)備產(chǎn)生的廢氣在主工藝風(fēng)機(jī)抽吸的作用下，經(jīng)前處理進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪進(jìn)行吸附濃縮，廢氣中的VOCs物質(zhì)被吸附到沸石上，凈化后氣體達(dá)標(biāo)排放。抽取部分排放氣經(jīng)過換熱器升溫至180℃后，送往轉(zhuǎn)輪的脫附區(qū)，大量的VOCs被解吸出來，進(jìn)入CO爐被加熱到300℃以上進(jìn)行催化氧化處理，氧化成為CO2和H2O，達(dá)標(biāo)后通過煙囪排放至大氣中。

優(yōu)勢：

本筒式轉(zhuǎn)輪選用東洋紡的沸石模塊，沸石含有率≥75%，凈化效率高達(dá)97%，不需要冷卻段。筒式轉(zhuǎn)輪的結(jié)構(gòu)優(yōu)點(diǎn)為：

1.易于處理大風(fēng)量廢氣；

2.沸石含有率高，高濃縮倍率；

3.安裝及維護(hù)簡單，不需吊裝機(jī)械；

4.單一沸石模塊重量6~13公斤，尺寸輕巧，安裝方便。

可迪爾空氣技術(shù)（北京）有限公司

Calidaddelaire（以下稱可迪爾）是由西班牙Herver-9集團(tuán)創(chuàng)建的品牌，總部位于西班牙馬德里，一直專注于為全世界提供先進(jìn)的空氣清潔技術(shù)和產(chǎn)品服務(wù)，力求尊重自然環(huán)境，回歸自然環(huán)境，有效執(zhí)行節(jié)能減排，減少對環(huán)境的污染和沖擊。

在過去的38年里，Herver-9集團(tuán)不斷推陳出新，使得其品牌長久不衰，迄今，已形成企業(yè)獨(dú)有的核心競爭優(yōu)勢。其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于歐美的工業(yè)廠房等處。隨著中國對環(huán)境保護(hù)要求的提高，Herver-9集團(tuán)看好中國市場，2014年進(jìn)入中國，并在中國開展了研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和售后服務(wù)等業(yè)務(wù)?？傻蠣栐敢獍哑鋵I(yè)的產(chǎn)品和技術(shù)帶入中國，給中國帶來最專業(yè)的工業(yè)廢氣解決方案。